[发明专利]互相连接的多元件栅格抛光垫有效
| 申请号： | 200810212660.0 | 申请日： | 2008-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN101367190A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 江波;G·P·马尔多尼 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 可用来在抛光介质(120)的存在下对磁性基材、光学基材和半导体基材中的至少一种(112)进行抛光的抛光垫(104)。所述抛光垫(104)包括大量抛光元件(402，502，602，702)。所述抛光元件(402，502，602，702)沿垂直方向对齐，具有第一端部和第二端部。在各个大量连接点(404，510，610，710)将抛光元件(402，502，602，702)的第一端部和第二端部与至少三个抛光元件连接，形成叠层。各叠层表示抛光元件(402，502，602，702)的第一端部和第二端部之间的垂直方向的厚度。通过将连接抛光元件(402，502，602，702)的大量连接点(404，504)的顺次叠层连接起来，形成互连的栅格结构(400，600)。 | ||
| 搜索关键词： | 互相 连接 多元 栅格 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种可用来在抛光介质的存在下对磁性基材、光学基材和半导体基材中的至少一种进行抛光的抛光垫，该抛光垫包括：a)大量抛光元件，所述抛光元件沿垂直方向对齐，具有第一端部和第二端部；b)大量连结点，所述大量连结点中的每一个将所述抛光元件的第一端部和第二端部与至少三个抛光元件连接起来，形成叠层，所述各叠层表示抛光元件的第一端部和第二端部之间沿垂直方向的厚度；c)通过将连接所述抛光元件的大量连结点的顺序的叠层连接起来形成的互连栅格结构。
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