[发明专利]切削工具用硬质被膜

摘要

本发明提供一种切削工具用硬质被膜，该硬质被膜的耐磨损性高于以往的AlCrN膜的耐磨损性。该硬质被膜形成于基材上，并包含第一多层被膜层，该第一多层被膜层是交替层叠第一被膜层和第二被膜层各2层以上而形成的，所述第一被膜层的金属及半金属成分以原子％计时，表示为Al_{(100－x－y－z)}Cr_(x)V_(y)B_(z)，其中，20≤x≤40，2≤y≤15，5≤z≤15，在所述第一被膜层中含有作为非金属元素的N，并且还含有不可避免的杂质；所述第二被膜层的金属及半金属成分以原子％计时，表示为Al_{(100－u－v－w)}Cr_(u)V_(v)B_(w)，其中，20≤u≤40，0≤v≤5，0≤w≤5，在所述第二被膜层中含有作为非金属元素的N，并且还含有不可避免的杂质；y和v满足y≥v的关系，并且，z和w满足z－5≥w的关系。

主权项

1.一种切削工具用硬质被膜，该硬质被膜形成于切削工具用基材上，其特征在于，该硬质被膜包含第一多层被膜层，该第一多层被膜层是交替层叠第一被膜层和第二被膜层各2层以上而形成的，所述第一被膜层的金属和半金属成分以原子％计时，该第一被膜层表示为Al(100-x-y-z)Cr(x)V(y)B(z)，其中，20≤x≤40，2≤y≤15，5≤z≤15，所述第一被膜层含有作为非金属元素的N，并且还含有不可避免的杂质；所述第二被膜层的金属和半金属成分以原子％计时，该第二被膜层表示为Al(100-u-v-w)Cr(u)V(v)B(w)，其中，20≤u≤40，0≤v≤5，0≤w≤5，所述第二被膜层含有作为非金属元素的N，并且还含有不可避免的杂质；所述第一被膜层的V的含量比例y和所述第二被膜层的V的含量比例v满足y≧v的关系，并且，所述第一被膜层的B的含量比例z和所述第二被膜层的B的含量比例w满足z-5≧w的关系。