[发明专利]压电驱动型MEMS装置及便携终端

摘要

本发明提供了压电驱动型MEMS装置及便携终端，其使尽量地增大作用部和固定电极的接触面积成为可能。具备：基板(1)；设置在基板上支持部(2)；设置在基板上的固定电极(11)；和执行器(3)，具有第1电极(4)、第1电极上形成的压电膜(5)和压电膜上形成的第2电极(6)，一端经过支持部固定在基板上，另一端配置为与固定电极相对并变为作用部(10)，作用部被贯穿第1电极、压电膜及第2电极的多个缝隙分割为多个电极部，各电极部的至少一部分与相邻电极部的一部分连接，各电极部可以个别地产生弯曲变形。

主权项

1.一种压电驱动型MEMS装置，其特征在于，具备：基板；支持部，其设置在上述基板上；固定电极，其设置在上述基板上；以及执行器，其具有第1电极、在上述第1电极上形成的压电膜和在上述压电膜上形成的第2电极，配置为一端经过上述支持部固定在上述基板上，另一端与上述固定电极相对并变为作用部；其中，上述作用部，被贯穿上述第1电极、上述压电膜和上述第2电极的多个缝隙分割为多个电极部，各电极部的至少一部分与相邻的电极部的一部分连接，各电极部可以个别地产生弯曲变形。