[发明专利]蚀刻液浓度控制方法无效
| 申请号： | 200810213433.X | 申请日： | 2008-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN101667040A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 陈志行 | 申请（专利权）人： | 浩硕科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D11/02 | 分类号： | G05D11/02;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 武晶晶;杨淑媛 |
| 地址： | 台湾省桃园县中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种蚀刻液浓度控制方法，其包括以下步骤：设定蚀刻液的目标浓度值；抽取蚀刻液样本；用丙二醇稀释所述蚀刻液样本；测量所述蚀刻液样本的浓度，得到所测量的浓度值；依据所述目标浓度值与所测量的浓度值的差值，调整所述蚀刻液的浓度至所述目标浓度值。蚀刻液浓度分析过程中不使用毒性物质，减少蚀刻液浓度控制过程对环境造成的负担。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 浓度 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻液浓度控制方法，包括下列步骤：(a)设定蚀刻液的目标浓度值；(b)抽取蚀刻液样本；(c)用丙二醇稀释所述蚀刻液样本；(d)测量所述蚀刻液样本的浓度，得到所测量的浓度值；(e)依据所述目标浓度值与所测量的浓度值的差值，调整所述蚀刻液的浓度至所述目标浓度值。
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