[发明专利]压电元件、使用压电元件的喷墨头以及压电元件的制造方法无效
| 申请号： | 200810213853.8 | 申请日： | 2008-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN101388432A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 藤井隆满;二瓶靖和;菱沼庆一;三田刚 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/09;H01L41/047;H01L41/22;B41J2/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱 丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电元件，其能够容易地以高精度来制造，并且廉价且电力消耗少。该压电元件具有基板、在基板上所形成的第1电极、在第1电极上所形成的压电体膜、在压电体膜的与第1电极所形成的面相反一侧的面上所形成的第2电极，第1电极由基板侧的第1层和压电元件侧的第2层构成，且第1层是由湿刻的蚀刻速率与所述基板不同的材料形成的。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 使用 喷墨 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种压电元件，具有：基板；在所述基板上所形成的第1电极；在所述第1电极上所形成的压电体膜；和第2电极，其在所述压电体膜的与形成所述第1电极的面相反一侧的面上形成；所述第1电极由所述基板侧的第1层和所述压电体膜侧的第2层构成，所述第1层由湿刻的蚀刻速率与所述基板不同的材料形成。
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