[发明专利]长晶炉拉晶杆有效
申请号: | 200810214280.0 | 申请日: | 2008-08-29 |
公开(公告)号: | CN101660195A | 公开(公告)日: | 2010-03-03 |
发明(设计)人: | 徐忠龙;刘哲铭;廖弘基;徐文庆;何思桦 | 申请(专利权)人: | 昆山中辰矽晶有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 梁爱荣 |
地址: | 215300江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种长晶炉拉晶杆,其包含有一上圆柱筒,其周围具有三个穿设过上圆柱筒壁的定位栓;一顶端呈现球状且容设于圆柱筒内的定位杆,其球状顶端与定位栓间形成动态止抵关系;以及一设于定位杆下端用以容设晶种的下圆柱体。本发明由长晶炉拉晶杆内的定位杆与定位栓间的动态平衡关系,使拉晶的过程中,晶种与坩锅的旋转中心可以保持同心,以使晶棒整体结构笔直不会产生偏心,而产生质量较为优良的晶棒。 | ||
搜索关键词: | 长晶炉拉晶杆 | ||
【主权项】:
1.一种长晶炉拉晶杆,其特征在于,包含有:一上圆柱筒,其上方连接至长晶炉的转动装置;三个定位栓,其分设于该上圆柱筒的筒壁上,且贯穿该筒壁;一定位杆,其顶端是呈现球状且容设于该上圆柱筒内,该球状顶端与该定位栓间形成动态止抵关系;以及一下圆柱体,其设于该定位杆下端,以容设晶种。
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