[发明专利]钙钛矿型氧化物、铁电体膜及其制备方法、铁电体器件和液体排出装置

摘要

本发明提供钙钛矿型氧化物、铁电体膜及其制备方法、铁电体器件和液体排出装置。在PZT类的钙钛矿型氧化物中，能够在不掺杂烧结助剂或受体离子的情况下，在A位以至少5摩尔％的掺杂浓度掺杂给体离子。所述钙钛矿型氧化物由式(P)：(Pb_1-x+δM_x)(Zr_yTi_1-y)O_z表示，其中M表示选自Bi和镧系元素中的至少一种元素，0.05≤x≤0.4，并且0＜y≤0.7，标准组成是使得δ＝0和z＝3这样的组成，条件是在能够获得所述钙钛矿结构的范围内，δ值和z值分别可以偏离0和3的标准值。

主权项

1. 一种钙钛矿型氧化物，所述钙钛矿型氧化物由下面显示的式(P)表示:(Pb1-x+δMx)(ZryTi1-y)Oz (P)其中M表示选自Bi和镧系元素中的至少一种元素，x表示满足0. 05≤x≤0.4的条件的数值，并且y表示满足0

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