[发明专利]具有多层电极的微加工声换能器无效
申请号: | 200810215255.4 | 申请日: | 2008-09-22 |
公开(公告)号: | CN101394685A | 公开(公告)日: | 2009-03-25 |
发明(设计)人: | P·A·沃纳;I·拉达鲍姆;K·J·杰克逊 | 申请(专利权)人: | 美国西门子医疗解决公司 |
主分类号: | H04R19/00 | 分类号: | H04R19/00;H04R31/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 卢 江;刘春元 |
地址: | 美国宾夕*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及具有多层电极的微加工声换能器。在电容式膜(14)超声换能器中,一个或者多个电极(18,20)包括导电的或者半导体材料的多个层(22,24)。在布置中,所述层(22,24)可以与绝缘体(28,14)或者空穴(16)相邻以便减少电退化。例如,具有较低功函数和较小电阻率的导电层(22)通过具有较高功函数和较大电阻率的导电层(24)从绝缘体(28,14)隔开。由于所使用的材料的类型和相对位置,随时间的推移,电极材料的不同层(22,24)可能提供较少电退化。 | ||
搜索关键词: | 具有 多层 电极 加工 声换能器 | ||
【主权项】:
1. 用于在电能和声能之间转换的膜(14)超声换能器,所述换能器包括:衬底(12);被支撑在衬底(12)上的膜(14),空穴(16)将膜(14)与衬底(12)分离;第一电极和第二电极(18,20),所述第一电极(18)与第二电极(20)相比在空穴(16)的相对侧;和将第一电极(18)从空穴(16)分离的第一绝缘层(28,14);其中第一电极(18)包括至少两个导电的或者半导电的电极层(22,24),所述电极层(22,24)彼此欧姆接触。
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