[发明专利]石英玻璃坩埚的制造方法有效
申请号: | 200810215444.1 | 申请日: | 2008-07-04 |
公开(公告)号: | CN101618941A | 公开(公告)日: | 2010-01-06 |
发明(设计)人: | 岸弘史;神田稔 | 申请(专利权)人: | 日本超精石英株式会社 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 庞立志;孙秀武 |
地址: | 日本秋田*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供弯曲部和底部未被过度加热,形状的成形性优异,并且内部气泡少的石英玻璃坩埚的制造方法。一种石英玻璃坩埚的制造方法,其是一边对充填于旋转模具中的石英粉成形体进行抽真空一边进行电弧熔融而制造石英玻璃坩埚的方法,其特征在于,在电弧熔融开始或电弧熔融中将电极相对于模具中心线相对地向侧方移动,在偏心的位置进行电弧熔融。石英玻璃坩埚的制造方法优选整体加热的时间为电弧熔融总时间的60%以下。 | ||
搜索关键词: | 石英玻璃 坩埚 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.石英玻璃坩埚的制造方法,其是一边对充填于旋转模具中的石英粉成形体进行抽真空一边进行电弧熔融而制造石英玻璃坩埚的方法,其特征在于,在电弧熔融开始或电弧熔融中使电极相对于模具中心线相对地向侧方移动,在偏心位置进行电弧熔融。
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