[发明专利]MEMS麦克风无效
| 申请号： | 200810216251.8 | 申请日： | 2008-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101677423A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 吴志江;刘明;王凯 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（常州）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213167*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种麦克风，具体指一种应用于电子设备上，具有更加稳定性能的MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone)麦克风。它在基板内部设有声音通道，该声音通道分别与进声孔的外部空间和MEMS芯片的凹陷部贯通，构成一完整的进声空间，在基板上设有防电磁等其他干扰的屏蔽罩，屏蔽罩与基板形成背部声腔，该声腔空间明显增大不在受基板的限制，从而使微机电系统传声器封装后的频响特性和开路灵敏度最小，屏蔽罩屏蔽了其他的外界干扰，这样麦克风的性能更加稳定。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
1、一种MEMS麦克风，包括：一带进声孔的上盖板、一壳壁、环绕并支撑上盖板；一基板，其上安装有相互电连接的MEMS芯片和专用集成电路ASIC芯片，所述的基板支撑壳壁和上盖板；其特征在于：所述基板的内部设有声音通道，该声音通道分别与上盖板的进声孔和MEMS芯片的凹陷部贯通，基板上还设有将MEMS芯片和专用集成电路ASIC芯片罩住的屏蔽罩，屏蔽罩与基板构成的空间为背部声腔。
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