[发明专利]振幅型波带片光子筛

摘要

本发明公开了一种振幅型波带片光子筛，属于光学仪器领域。本发明是在透明介质上，其中心部位设置菲涅耳波带片环带，在环带外围设置普通的光子筛圆孔，光子筛的圆孔包围波带片的环带。其中菲涅耳波带片是振幅型的。制造的光子筛所基于的波带片和内部所包围的波带片的设计参数一致，光子筛每个圆孔的直径是相应位置环带的1.5倍；外围光子筛最外环圆孔的直径与中心部分波带片最外环环带的宽度一致，它们根据现有的微细加工最小线宽的工艺能力确定。本发明可用于光束整形、微电子无掩模刻蚀、强激光能量集中、X射线聚焦和其它需要能量聚焦到中心光斑的各种仪器中，可以提高筛聚焦衍射光强，即实现了激光束远场衍射斑的主斑能量的提升。

主权项

1、一种振幅型波带片光子筛，所述振幅型波动片上包括菲涅耳波带片环带，其特征在于，在所述菲涅耳波带片环带的外围设置有光子筛圆孔环带，即根据菲涅耳波带片的设计参数，将所述菲涅耳波带片的外围环带替换为光子筛圆孔环带；所述光子筛圆孔的直径为所被替代的所述菲涅耳波带片环带宽度的1.5倍；所述光子筛最外环圆孔的直径与所述菲涅耳波带片最外围环带的宽度一致。