[发明专利]一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法无效
| 申请号： | 200810225440.1 | 申请日： | 2008-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101391328A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 李勇;刘改红;陈旭鹏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B23H3/04 | 分类号： | B23H3/04;B23H3/06;C08J3/24;C08L63/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北京市100*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，涉及在微细电化学加工用电极的侧壁表面形成绝缘膜的方法，属于微细加工技术领域。该方法的操作步骤为：1)清洗电极；2)旋涂法在电极表面涂敷液态绝缘材料；3)利用局部溶解的方法去除电极端面的液态绝缘材料，使端面导电；4)固化液态绝缘材料；5)重复步骤2)、步骤3)、步骤4)数次，在电极的侧壁表面形成一定厚度的绝缘膜，以满足侧壁绝缘要求。绝缘材料可采用环氧树脂液。本发明不仅适用于微细电化学加工用单电极，而且适用于微细电化学加工用阵列电极，同时也为电生理学实验用电极提供了一种新的侧壁绝缘方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微细 电化学 工用 电极 侧壁 绝缘 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，其特征在于该方法包括如下步骤：1)清洗电极；2)采用旋涂法在电极表面涂敷液态绝缘材料；3)利用溶剂液膜，通过局部溶解的方法去除电极端面的液态绝缘材料，使端面导电；4)对侧壁表面上的液态绝缘材料进行固化处理；5)重复步骤2)、步骤3)、步骤4)数次，在电极的侧壁表面形成一定厚度的绝缘膜，以满足侧壁绝缘要求。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810225440.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
