[发明专利]透明导电膜及其制造方法、太阳能电池及平板显示装置有效
| 申请号： | 200810226995.8 | 申请日： | 2008-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101748405A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 徐亚伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/35;C23C16/18;H01B5/14;H01L21/28;H01L31/18;H01L51/48;H01L51/56;H01L31/0224;H01L51/44;H01L27/32;H01L51/52;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 100016 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种透明导电膜的制造方法，用于在基底上形成包含氧化锌材质的透明导电膜；包括：在基底上形成包含氧化锌的种子层；在所述种子层上形成包含氧化锌的主体层。本发明还提供一种透明导电膜、显示装置和太阳能电池。本发明的制造方法能够提高形成透明导电膜的速率；本发明的透明导电膜光电转换效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 导电 及其 制造 方法 太阳能电池 平板 显示装置 | ||
【主权项】：
一种透明导电膜的制造方法，用于在基底上形成包含氧化锌材质的透明导电膜；其特征在于包括：在基底上形成包含氧化锌的种子层；在所述种子层上形成包含氧化锌的主体层。
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