[发明专利]一种用二次蒸发法制备单分散Cu纳米颗粒模板的方法无效
| 申请号： | 200810229299.2 | 申请日： | 2008-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN101445911A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 李志杰;张旭;贺连龙 | 申请（专利权）人： | 沈阳工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 沈阳圣群专利事务所 | 代理人： | 王玉信 |
| 地址： | 110178辽宁省沈阳市经*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用二次蒸发法制备单分散Cu纳米颗粒模板的方法，其主要技术特征是，氮气300Torr气氛中，在1300℃恒温40-60min，使Cu粉蒸发，在光洁的刚玉套管上均匀覆盖上一层Cu；蒸发得到的刚玉套管做为第二次蒸发的Cu源，以P-111型Si片为基底，流动Ar气保护，气体流速100sccm，在温度1300℃恒温30-50min，制备出单分散的Cu纳米颗粒模板，其优点是，沉积过程均匀稳定，纳米颗粒的单分散性好，解决了常规物理、化学分散方法不能彻底分散纳米颗粒的难题，并且可以通过调节实验温度、恒温时间和气体流速有效控制颗粒尺寸、分散密度和覆盖率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二次 蒸发 法制 分散 cu 纳米 颗粒 模板 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用二次蒸发法制备单分散Cu纳米颗粒模板的方法，其特征是，(1)将盛有纯度99.9％的Cu粉的刚玉瓷舟装入刚玉套管，在1300℃、300TorrN2气的条件下保温40-60min，套管的内壁均匀的分布上一层Cu；(2)蒸发得到的刚玉套管做为第二次蒸发的Cu源，以P-111型Si片为基底，流动Ar气保90护，气体流速100sccm，在温度1300℃恒温30-50min，制备出单分散的Cu纳米颗粒模板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳工业大学，未经沈阳工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810229299.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种低驱动电位铝合金牺牲阳极
- 下一篇：加铝溜槽装置
- 同类专利
- 专利分类
