[发明专利]集成光栅微悬臂梁生化传感器及其芯片制作方法无效
| 申请号： | 200810239541.4 | 申请日： | 2008-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN101750481A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 叶雄英;陈烽;伍康;刘力涛;周兆英 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N33/50 | 分类号： | G01N33/50 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成光栅微悬臂梁生化传感器，包括玻璃片表面上设置的金属光栅和电极；电极和光栅上覆盖的绝缘层，并在玻璃片上设置有微悬臂梁结构以及微悬臂梁上表面的特异性吸附层，微悬臂梁和光栅之间有一定的间隙，光电检测电路与电极相连接。利用光栅衍射光斑的光强随光栅面与微悬臂梁下反射面的距离的敏感变化特性，实现高灵敏度的生化检测。利用MEMS技术和成熟的激光二级管、光电探测器，可以大规模生产，易于推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 光栅 悬臂梁 生化 传感器 及其 芯片 制作方法 | ||
【主权项】：
一种集成光栅微悬臂梁生化传感器，包括：一透明基底；覆于所述透明基底上表面的金属光栅；一由锚点和微悬臂组成的悬臂梁组件；所述锚点与所述透明基底相连；所述微悬臂上表面上覆有生物探针附着层，所述微悬臂下表面为光反射面；所述微悬臂长度100-3000微米，宽度10-300微米，厚度0.1-10微米；所述微悬臂与透明基底间设有间隙；粘附于所述生物探针附着层上表面的特异性生物探针；光电探测器和放置在所述金属光栅正下方的激光二极管。
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