[发明专利]一种工艺控制的方法和装置有效
| 申请号： | 200810239833.8 | 申请日： | 2008-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN101751026A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 杨峰 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工艺控制方法和装置，该方法包括：选取当前工艺下的历史数据样本，所述历史数据样本包括当前工艺的光谱强度数据和待预测参数；依据所述历史数据样本，构建以光谱强度数据为输入变量，以待预测参数为输出变量的预测模型；基于该预测模型，对本次工艺过程进行控制。本发明通过选取针对同一工艺(如，待控制的当前工艺)的历史数据样本，构建合适的预测模型，以避免现有技术简单预测的缺陷，或者仅仅依靠实时光谱数据所带来的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种工艺控制方法，其特征在于，包括：选取当前工艺下的历史数据样本，所述历史数据样本包括当前工艺的光谱强度数据和待预测参数；依据所述历史数据样本，构建以光谱强度数据为输入变量，以待预测参数为输出变量的预测模型；基于该预测模型，对本次工艺过程进行控制。
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