[发明专利]一种工艺过程参数的可视化装置和方法有效
| 申请号： | 200810240097.8 | 申请日： | 2008-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101441458A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 谢凯 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/048 | 分类号： | G05B19/048 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100016北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工艺过程参数的可视化装置，用于展示多种工艺过程参数随时间的变化情况，该装置包括：时间轴动态调整模块，用于依据一过程参数的目标样本点的时间值，对展示该过程参数的时间轴的最大值和最小值进行动态调整；数值轴动态调整模块，用于依据一过程参数在当前时间轴范围内的样本点的最大参数值和/或最小参数值，对展示该过程参数的数值轴的最大值和/或最小值进行动态调整；展示模块，用于采用动态调整得到的时间轴范围和数值轴范围，对相应的过程参数随时间的变化情况进行展示。本发明的坐标轴取值范围可以随着该过程参数样本点数值的变化而自动调整，以使其能够在图像区有一个最佳的显示比例，便于技术人员观察分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 过程 参数 可视化 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种工艺过程参数的可视化装置，其特征在于，用于展示多种工艺过程参数随时间的变化情况，该装置包括：时间轴动态调整模块，用于依据一过程参数的目标样本点的时间值，对展示该过程参数的时间轴的最大值和最小值进行动态调整；数值轴动态调整模块，用于依据一过程参数在当前时间轴范围内的样本点的最大参数值和/或最小参数值，对展示该过程参数的数值轴的最大值和/或最小值进行动态调整；展示模块，用于采用动态调整得到的时间轴范围和数值轴范围，对相应的过程参数随时间的变化情况进行展示。
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