[发明专利]匹配器及等离子体设备无效
| 申请号： | 200810240188.1 | 申请日： | 2008-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101754567A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 赵镇勇 |
| 地址： | 100016 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种匹配器及等离子体设备，匹配器自输入端至输出端依次设有传感器、匹配网络，在传感器与匹配网络之间或之后加入变压器，可以通过变压器与可变阻抗器件的配合设置预设值，在工艺过程初始使等离子体处于较稳定的起辉状态；还可以通过变压器的初级线圈和次级线圈的变化，以对应不同的工艺气体和工况，使等离子体稳定迅速地起辉，并缩短匹配时间，能够提高晶圆处理的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 配器 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
一种匹配器，其特征在于，该匹配器自输入端至输出端依次设有传感器、匹配网络，所述输入端与输出端之间设有变压器。
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