[发明专利]氮化镓基场效应管及其制备方法无效
| 申请号： | 200810240270.4 | 申请日： | 2008-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101442071A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 李诚瞻;魏珂;郑英奎;刘果果;黄俊;刘新宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L21/335 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是关于一种氮化镓基场效应管及其制备方法。该场效应管包括正面管芯、衬底和背金结构，所述的衬底包括碳化硅衬底或蓝宝石衬底，所述的背金结构设置在衬底底面，该背金结构包括背金起镀层和电镀层，所述的背金起镀层是由钛金属层、钨金属层和金金属层构成的复合金属层，所述的钛金属层与所述的衬底接触。本发明采用氢氧化钠抛光液，对场效应管的衬底进行化学机械抛光，采用溅射钛/钨/金复合层金属的方法形成背金起镀层，利用钨的良好阻挡性能，钛/钨/金系统有效地阻挡金锡合金或金锡焊料在高温条件下向衬底渗透，有效地增强了背金结构在碳化硅衬底或蓝宝石衬底的粘附性。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 场效应 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种氮化镓基场效应管，包括正面管芯、衬底和背金结构，所述的背金结构设置在衬底底面，该背金结构包括背金起镀层和电镀层，其特征在于：所述的背金起镀层是由钛金属层、钨金属层和金金属层构成的复合金属层，所述的钛金属层与所述的衬底接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810240270.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种自润滑合金材料
- 下一篇：用于高炉风口的耐热铜基合金
- 同类专利
- 专利分类
