[发明专利]一种基于金属钛的MEMS机械继电器的制备方法有效
| 申请号： | 200810240592.9 | 申请日： | 2008-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN101447369A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 陈兢;舒琼 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01H49/00 | 分类号： | H01H49/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙） | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于金属钛的MEMS机械继电器的制备方法，属于微电子机械系统(MEMS)微加工技术领域。该方法包括：对钛基底光刻图形化，刻蚀形成浅槽；选择热膨胀系数与金属钛匹配的玻璃，在玻璃的表面制备金属连线；将钛基底和玻璃基底进行阳极键合；对钛基底进行背面减薄，光刻图形化，并进行深刻蚀，穿通钛基底，形成MEMS机械继电器。本发明通过阳极键合、化学机械抛光和深刻蚀等工艺，在玻璃衬底上实现低成本、高精度、高深宽比的金属钛三维可动结构的加工，从而实现了基于金属钛的MEMS机械继电器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 mems 机械 继电器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于金属钛的MEMS机械继电器的制备方法，其步骤包括：1)对钛基底光刻图形化，刻蚀形成浅槽；2)选择热膨胀系数与金属钛匹配的玻璃，在玻璃的表面制备金属连线；3)将钛基底和玻璃基底进行阳极键合；4)对钛基底进行背面减薄，光刻图形化，并进行深刻蚀，穿通钛基底，形成MEMS机械继电器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学，未经北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810240592.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
