[发明专利]一种在钛及其合金表面制备铂涂层方法无效
| 申请号： | 200810244068.9 | 申请日： | 2008-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101445906A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 陈照峰;吴王平;承涵;万水成;刘勇;王世明 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/28;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210016江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铂涂层制备方法，尤其是涉及一种在钛及其合金表面制备铂涂层方法。该方法特征在于在氩气环境下源极和阳极之间设有直流电源并使其间产生辉光放电形成氩离子轰击高纯度的铂靶材，从而使铂原子被溅射出来，经沉积和扩散从而使钛及其合金表面形成铂涂层。涂层的厚度可以通过调整工作气压、源极电位、阴极电位以及温度与保温时间等工艺参数加以控制。通过等离子渗铂金属，可以在钛及其合金基体表面形成过渡层使得与基体更加结合牢固的铂涂层，而且钛和铂的热膨胀系数匹配，可以制备出致密的结合强的铂涂层。涂层与基体有着良好的结合力还必须通过对基体表面进行处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 及其 合金 表面 制备 涂层 方法 | ||
【主权项】：
1. 本发明提供一种在钛及其合金表面制备铂涂层方法，其特征在于在氩气环境下源极和阳极之间设有直流电源并使其间产生辉光放电形成氩离子轰击高纯度的铂靶材，从而使铂原子被溅射出来，经沉积和扩散从而使钛及其合金表面形成铂涂层。涂层的厚度可以通过调整工作气压、源极电位、阴极电位以及温度与保温时间等工艺参数加以控制。通过等离子渗铂金属，可以在钛及其合金基体表面形成过渡层使得与基体更加结合牢固的铂涂层，而且钛和铂的热膨胀系数匹配，可以制备出致密的结合强的铂涂层。涂层与基体有着良好的结合力还必须通过对基体表面进行处理。
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