[发明专利]用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液无效
| 申请号： | 200810244714.1 | 申请日： | 2008-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN101430510A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 顾奇;朱海盛 | 申请（专利权）人： | 苏州苏电微电子信息化学品研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 215001江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液，其配方：无机碱氢氧化物5～15wt％，水溶性有机胺化合物1～20wt％，烷基二醇烷基醚1～20wt％，聚氧乙烯醚0.1～10wt％，水35～80wt％。配制的剥离液广泛用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层，不损坏玻璃基板，使处理后的玻璃基板可重新利用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 去除 彩色 滤光 片制程中 不良 基板上 光刻 保护层 剥离 | ||
【主权项】：
1. 用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液，其特征在于其组分具有如下的重量百分比：无机碱氢氧化物5～15wt％，水溶性有机胺化合物1～20wt％，烷基二醇烷基醚1～20wt％，聚氧乙烯醚0.1～10wt％，水35～80wt％。
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