[发明专利]一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法及装置无效
| 申请号： | 200810246877.3 | 申请日： | 2008-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101768773A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 谷宇恒;梁书正;赵洋 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法及装置，该方法是通过夹持装置与运行中的单晶实体接触，对单晶提供支持力用于消除单晶运行时，晃动和倒伏的现象，所述的与运行中的单晶实体接触的是夹持针，该夹持针与夹持牵引系统、夹持基座组成夹持装置。本发明的优点是：增加设备运行中单晶的稳定性的同时，又不影响单晶体生长的外部环境和工艺条件，这就意味着该方法可以在整体流程不变的情况下，提高了单晶生长环节中的单晶体的稳定性以及单晶完整率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增加 区熔单晶炉 运行 时单晶 稳定性 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法，其特征在于：通过夹持装置与运行中的单晶实体接触，对单晶提供必要的支持力用于消除单晶运行时，晃动和倒伏的现象。
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