[发明专利]升降机线性马达驱动无效
| 申请号： | 200810247088.1 | 申请日： | 2008-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN101483145A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | S·斯科莱 | 申请（专利权）人： | 因特瓦克公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘佳斐;蔡胜利 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种具有磁导管结构的衬底处理系统以改善系统内的衬底运输设备的移动。该结构通过使用磁导管来重新引导由线性马达产生的磁力，允许线性马达被定位在系统的外面并且处于不与运输设备的移动相互干扰的位置中，特别地提供了运输设备在衬底处理系统的多个级别之间的安全、可靠的移动。 | ||
| 搜索关键词： | 升降机 线性 马达 驱动 | ||
【主权项】：
1、一种系统，用于在具有至少一个室的衬底处理系统中传输衬底，包括：轨道，定位在该室中；衬底运输设备，安装在该轨道之上用于传输该衬底；多个磁元件，连接到该运输设备上；线性马达；多个磁导管，定位在该线性马达和该运输设备之间，其中该磁导管将磁力从该线性马达传递到该运输设备，以产生磁耦合来传输该运输设备。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
