[发明专利]涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法有效
| 申请号： | 200810247527.9 | 申请日： | 2008-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN101718541A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 陈超;郑彦标;王鹏年 | 申请（专利权）人： | 四川虹欧显示器件有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 100085 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置，其用于多面取涂敷设备上，该多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器，其中，该自动测量装置包括：滑块，可滑动地设置在横梁上；可伸缩的机械臂，一端固定于滑块上；第二传感器，安装于上述可伸缩的机械臂的另一端，该第二传感器至少具有测量上述ND方向膜厚的第一姿态，以及驱动装置，驱动上述滑块在横梁上滑动，以带动该第二传感器在ND方向移动。本发明还公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量方法。本发明能解决目前多面取涂层ND方向膜厚不能自动测量的问题，从而减少了对玻璃基板的损伤，并减少了设备的制作成本、节约了工艺动作和时间、提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 涂敷层 nd 方向 自动 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置，所述自动测量装置用于多面取涂敷设备上，所述多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器，其特征在于，所述自动测量装置包括：滑块，可滑动地设置在所述横梁上；可伸缩的机械臂，一端固定于所述滑块上；第二传感器，安装于所述可伸缩的机械臂的另一端，所述第二传感器至少具有测量所述ND方向膜厚的第一姿态；以及驱动装置，驱动所述滑块在横梁上滑动。
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