[发明专利]表面声波感测器的制作方法无效
| 申请号： | 200810301711.7 | 申请日： | 2008-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN101587099A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 周代栩 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/34 | 分类号： | G01N29/34;G01N29/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一表面声波感测器制作方法，包括以下步骤：在一压电基材表面镀一感测材料层；采用纳米压印方法在该感测材料层表面制作预定图案；在镀该感测材料层的步骤之前或在该感测材料层表面制作预定图案之后，在压电基板表面的位于该感测材料层的相对两侧形成输入叉指电极和输出叉指电极，得到一表面声波感测器。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 声波 感测器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一表面声波感测器制作方法，包括以下步骤：在一压电基材表面镀一感测材料层；采用纳米压印方法在该感测材料层表面制作预定图案；在镀该感测材料层的步骤之前或在该感测材料层表面制作预定图案之后，在压电基板表面的位于该感测材料层的相对两侧形成输入叉指电极和输出叉指电极，得到一表面声波感测器。
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