[发明专利]湿制程系统及湿处理方法有效

专利信息
申请号: 200810302230.8 申请日: 2008-06-19
公开(公告)号: CN101610641A 公开(公告)日: 2009-12-23
发明(设计)人: 杨智康;李文钦 申请(专利权)人: 富葵精密组件(深圳)有限公司;鸿胜科技股份有限公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00;H05K3/38;C23F1/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518103广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种湿制程系统,其包括第一喷液装置、第二喷液装置、固持转向装置及传送装置。该第一喷液装置与第二喷液装置与传送装置相对设置,用以喷射液体至位于传送装置的待处理物体。该固持转向装置位于第一喷液装置与第二喷液装置之间,并与传送装置相对设置,用于固持并转动经第一喷液装置处理的位于传送装置的待处理物体,以使转动后的待处理物体再由传送装置输送至第二喷液装置进行处理。本发明还提供一种湿处理方法,以获得均一质量的产品。
搜索关键词: 湿制程 系统 处理 方法
【主权项】:
1.一种湿制程系统,其包括第一喷液装置、第二喷液装置及传送装置,所述第一喷液装及第二喷液装置与传送装置相对设置,用以喷射液体至位于传送装置的待处理物体,其特征在于,所述湿制程系统进一步包括固持转向装置,所述固持转向装置与传送装置相对设置,并位于第一喷液装置与第二喷液装置之间,用于固持并转动经第一喷液装置处理的位于传送装置的待处理物体,以使经转动的待处理物体再由传送装置输送至第二喷液装置进行处理。
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