[发明专利]具有复合电极结构的介电薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及薄膜电路产品，特别涉及一种介电薄膜电极结构及其制备方法。本发明针对现有技术介电薄膜使用中损耗大，漏电流大的缺点，公开了一种具有复合电极结构的介电薄膜及其制备方法，可以降低介电损耗和漏电流。本发明的技术方案是，具有复合电极结构的介电薄膜，包括基片、电极和介电薄膜，其特征在于，所述电极由金属电极和导电氧化物薄膜构成，所述金属电极制备在所述基片上，所述导电氧化物薄膜制备在所述金属电极上，所述介电薄膜制备在所述导电氧化物薄膜上。本发明还提供了具有复合电极结构的介电薄膜制备方法。本发明的介电薄膜，主要用于制造薄膜元器件等电路产品。

主权项

【权利要求1】具有复合电极结构的介电薄膜，包括基片、电极和介电薄膜，其特征在于，所述电极由金属电极和导电氧化物薄膜构成，所述金属电极制备在所述基片上，所述导电氧化物薄膜制备在所述金属电极上，所述介电薄膜制备在所述导电氧化物薄膜上。