[发明专利]谐振式光纤珐珀传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 200810305224.8 | 申请日： | 2008-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101424547A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 冉曾令;饶云江 | 申请（专利权）人： | 冉曾令 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 | 代理人： | 蒲 敏 |
| 地址： | 610054四川省成都市建*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光学性能好、量程可调的谐振式光纤法珀传感器，包括光纤和保护光纤，在光纤和保护光纤之间对接有光纤法珀谐振膜；所述光纤法珀谐振膜的端面镀有光热薄膜；所述保护光纤的端面有微槽，所述微槽设置在与光纤法珀谐振膜的对接面上；所述光纤或光纤法珀谐振膜的端面有槽，所述槽形成法珀腔，所述法珀腔的光学反射面是平面。本发明通过改变光纤法珀谐振膜的厚度或形状、硬质量中心的长短或重量，来改变量程；由于本发明的光学反射面是平面，因此光学性能好。本发明可以作为温度、压力、应变、磁场和振动传感器等。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 光纤 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
【权利要求1】谐振式光纤珐珀传感器，包括光纤(1)和保护光纤(7)，其特征在于：在光纤(1)和保护光纤(7)之间对接有光纤法珀谐振膜(6)；所述光纤法珀谐振膜(6)的端面镀有光热薄膜(3)；所述保护光纤(7)的端面有微槽(9)，所述微槽(9)设置在与光纤法珀谐振膜(6)的对接面上；所述光纤(1)或光纤法珀谐振膜(6)的端面有槽(2)，所述槽(2)形成法珀腔(5)，所述法珀腔(5)的光学反射面是平面。
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