[发明专利]一种减薄划片废水的回用工艺和系统有效
| 申请号： | 200810305302.4 | 申请日： | 2008-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN101549913A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 沈海军 | 申请（专利权）人： | 浙江东洋环境工程有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/02 | 分类号： | C02F9/02;C02F1/42 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 313017浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明利用膜分离技术处理硅片减薄划片废水，将废水中的单晶硅浓缩回收，其中膜透过液作为混床进水回用到生产工艺上。根据本发明的一种硅片减薄划片废水处理方法，包括先采用精密过滤器所述硅片减薄划片废水，再采用中空纤维超滤装置进行处理，获得超滤透过液和浓缩液，最后所述超滤透过液进行深度脱盐处理的过程。减薄划片废水经过本发明回用处理，使水资源充分利用回收，节省了大量工业用水。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 划片 废水 用工 系统 | ||
【主权项】：
1.一种减薄划片废水的回用工艺，其特征在于：首先将减薄划片废水经过过滤器，截留废水中的粗硅；然后将过滤后的水经过第一级超滤装置，产水作为深度脱盐装置进行脱盐后供生产用水，浓水进入浓缩液水箱，经过了深度脱盐后的废水排出到废水池内。
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