[发明专利]珐珀加速度传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200810305382.3 | 申请日： | 2008-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN101424698A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 冉曾令;饶云江 | 申请（专利权）人： | 冉曾令 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 | 代理人： | 蒲 敏 |
| 地址： | 610054四川省成都市建*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光学性能好的珐珀加速度传感器。法珀加速度传感器，包括光纤或平面波导，所述光纤或平面波导上有带膜片的通孔式珐珀腔。法珀加速度传感器的制造方法，该方法为：在所述光纤或平面波导上用带掩模板的激光加工一个带膜片的通孔式珐珀腔，就制成法珀加速度传感器。本发明采用激光加工工艺，传感器的两个反射面都是平面，反射性能很好，传感器的光学性能极其优良；本发明采用激光加工工艺对任何种类的光纤或平面波导都适用，生产效率高，可以实现批量化、高成品率和高重复率的制造；本发明采用的激光加工工艺可以对光纤或平面波导进行精确的切割，易于制成各种量程的加速度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
【权利要求1】法珀加速度传感器，包括光纤(1)或平面波导(5)，其特征在于：所述光纤(1)或平面波导(5)上有带膜片(2)的通孔式珐珀腔(3)。
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