[实用新型]可发光辅助校准的定位装置无效
申请号: | 200820000147.0 | 申请日: | 2008-01-04 |
公开(公告)号: | CN201153119Y | 公开(公告)日: | 2008-11-19 |
发明(设计)人: | 谢柏弘;罗世虎;林宪维 | 申请(专利权)人: | 科毅科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683;G03F9/00 |
代理公司: | 天津三元专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 钱凯 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种可发光辅助校准的定位装置,包括一机台;一工作承座设于机台上;一定位结构设于工作承座上;定位结构具有一第一及一第二面;至少一发光部;一真空吸引部设于定位结构上,其包括一吸引槽道,内凹分布于定位结构的第二面上;一第一气孔开设于定位结构的第二面上,且连通吸引槽道;一第二气孔开设于定位结构的第一面上;一通气道设于定位结构内部,且连通第一及第二气孔;一工作气体供应部,设于定位结构内部,其包括多个第三气孔,开设于定位结构的第二面上;一第四气孔开设于定位结构的第一面上,连通多个第三气孔。本实用新型具有辅助背光的标号设计定位较准确,使定位结构与工作气体供应部合一结构简单,其真空吸引部使工件可轻易定位。 | ||
搜索关键词: | 发光 辅助 校准 定位 装置 | ||
【主权项】:
1.一种可发光辅助校准的定位装置,其特征在于包括:一机台;一工作承座,设于该机台上;一定位结构,设于该工作承座上;该定位结构具有一第一面及一第二面;至少一发光部,设于该定位结构上,其可朝该第二面的方向发光;一真空吸引部,设于该定位结构上,其包括:一吸引槽道,内凹分布于该定位结构的第二面上;一第一气孔,开设于该定位结构的第二面上,且连通该吸引槽道;一第二气孔,开设于该定位结构的第一面上;一通气道,设于该定位结构内部,且连通该第一气孔及该第二气孔,借此,使该真空吸引部产生预定吸引力;一工作气体供应部,设于该定位结构内部,其包括:多个第三气孔,开设于该定位结构的第二面上,且围绕于该吸引槽道外周;一第四气孔,开设于该定位结构的第一面上,且连通该多个第三气孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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