[实用新型]可发光辅助校准的定位装置无效

专利信息
申请号: 200820000147.0 申请日: 2008-01-04
公开(公告)号: CN201153119Y 公开(公告)日: 2008-11-19
发明(设计)人: 谢柏弘;罗世虎;林宪维 申请(专利权)人: 科毅科技股份有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/683;G03F9/00
代理公司: 天津三元专利商标代理有限责任公司 代理人: 钱凯
地址: 中国*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种可发光辅助校准的定位装置,包括一机台;一工作承座设于机台上;一定位结构设于工作承座上;定位结构具有一第一及一第二面;至少一发光部;一真空吸引部设于定位结构上,其包括一吸引槽道,内凹分布于定位结构的第二面上;一第一气孔开设于定位结构的第二面上,且连通吸引槽道;一第二气孔开设于定位结构的第一面上;一通气道设于定位结构内部,且连通第一及第二气孔;一工作气体供应部,设于定位结构内部,其包括多个第三气孔,开设于定位结构的第二面上;一第四气孔开设于定位结构的第一面上,连通多个第三气孔。本实用新型具有辅助背光的标号设计定位较准确,使定位结构与工作气体供应部合一结构简单,其真空吸引部使工件可轻易定位。
搜索关键词: 发光 辅助 校准 定位 装置
【主权项】:
1.一种可发光辅助校准的定位装置,其特征在于包括:一机台;一工作承座,设于该机台上;一定位结构,设于该工作承座上;该定位结构具有一第一面及一第二面;至少一发光部,设于该定位结构上,其可朝该第二面的方向发光;一真空吸引部,设于该定位结构上,其包括:一吸引槽道,内凹分布于该定位结构的第二面上;一第一气孔,开设于该定位结构的第二面上,且连通该吸引槽道;一第二气孔,开设于该定位结构的第一面上;一通气道,设于该定位结构内部,且连通该第一气孔及该第二气孔,借此,使该真空吸引部产生预定吸引力;一工作气体供应部,设于该定位结构内部,其包括:多个第三气孔,开设于该定位结构的第二面上,且围绕于该吸引槽道外周;一第四气孔,开设于该定位结构的第一面上,且连通该多个第三气孔。
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