[实用新型]具有均匀电场分布的槽孔式电极无效
| 申请号： | 200820003602.2 | 申请日： | 2008-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN201194213Y | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 黄明鸿;叶公旭;杨正安;何建立 | 申请（专利权）人： | 东捷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H05H1/34;H01L21/00;H01L21/3065;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有均匀电场分布的槽孔式电极，包含一电极片，具有一第一表面及一第二表面，其电性连接于一射频电流源；一微扰槽孔，其对称蚀刻于该电极片的一边；一第一边际槽孔，其对称该微扰槽孔并蚀刻于该电极片的一边以及一第二边际槽孔，正交该第一边际槽孔并蚀刻于该电极片的两边。通过良好设计该电极的槽孔，该电极可有效改善等离子体均匀度，且适用于各种材料的基板，可广泛应用等离子体制造系统中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 均匀 电场 分布 槽孔式 电极 | ||
【主权项】：
1.一种具有均匀电场分布的槽孔式电极，其特征在于，至少包含：一电极片，具有一第一表面及一第二表面，其电性连接于一射频电流源，其用于产生一电场；一微扰槽孔，其对称蚀刻于该电极片的一边，其用于控制该电场强度分布；一第一边际槽孔，其对称该微扰槽孔并蚀刻于该电极片的一边，其用于控制该电极片边缘上的电场强度分布；一第二边际槽孔，其正交该第一边际槽孔并蚀刻于该电极片的两边，其用于控制该电极片边缘上的电场强度分布；其中，该微扰槽孔与该射频电流源为同一方向。
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