[实用新型]具有绝缘功能的基板载具无效

专利信息
申请号: 200820005019.5 申请日: 2008-03-21
公开(公告)号: CN201169622Y 公开(公告)日: 2008-12-24
发明(设计)人: 黄泳钊;郑博仁 申请(专利权)人: 北儒精密股份有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/34
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人: 刘新宇
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型提供一种具有绝缘功能的基板载具,该基板载具可承载至少一片基板,并架设在一个输送机构上,所述基板载具包括:一个供该基板架设的承载板、一个架设在该输送机构上的导轨条以及一个绝缘单元,该绝缘单元包括多个可拆装地连接在承载板及导轨条间的绝缘块。本实用新型通过在导轨条及承载板间安装绝缘块,不但可以让基板载具具有绝缘功能,这项设计也具有拆装绝缘块方便以及换装后无需校正的功效。
搜索关键词: 具有 绝缘 功能 基板载具
【主权项】:
1.一种具有绝缘功能的基板载具,可承载至少一片基板,并架设在一个输送机构上,所述基板载具包括:一个供所述基板架设的承载板,以及一个架设在所述输送机构上的导轨条,其特征在于,该基板载具还包括一个绝缘单元,上述绝缘单元包括至少一个可拆装地连接在所述承载板及所述导轨条间的绝缘块。
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