[实用新型]碳化硅合成炉气体收集装置有效
申请号: | 200820028866.3 | 申请日: | 2008-04-16 |
公开(公告)号: | CN201237449Y | 公开(公告)日: | 2009-05-13 |
发明(设计)人: | 王晓刚 | 申请(专利权)人: | 陕西西科博尔科技有限责任公司 |
主分类号: | F27D17/00 | 分类号: | F27D17/00;C01B31/36 |
代理公司: | 西安创知专利事务所 | 代理人: | 李子安 |
地址: | 710054陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种SiC合成炉气体收集装置,包括设置在SiC合成炉炉体的两侧的挡墙,所述挡墙两端与SiC合成炉端墙相接构成矩形围挡,所述围挡上设置有顶盖;所述挡墙上设置有用于输送气体的管道。本实用新型消除了活动装置不能大型化的缺陷,而且无需较大的牵引动力,降低了运动难度,可操作性强,运行更加合理平稳。 | ||
搜索关键词: | 碳化硅 合成 气体 收集 装置 | ||
【主权项】:
1. 一种碳化硅合成炉气体收集装置,其特征在于:包括设置在碳化硅合成炉炉体两侧的挡墙,所述挡墙两端与碳化硅合成炉端墙相接构成矩形围挡,所述围挡上设置有顶盖,所述挡墙上设置有用于输送气体的管道。
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