[实用新型]连续式多晶硅提纯结晶炉

摘要

本实用新型涉及一种连续式多晶硅提纯结晶炉，属于一种多晶硅冶炼设备，为太阳能光伏行业用多晶硅材料的连续式提纯结晶设备。它主要由预热炉、提纯结晶炉、电动拖车等组成，预热炉用于坩埚的预热处理，预热炉为梭式窑结构，包括炉体、台车、升降门、坩埚、加热系统、电气控制部分等组成，提纯结晶炉包括炉体、台车、升降门、加热系统、降温系统等组成；提纯结晶炉炉体为隧道式，炉体顶部为拱型，两组U型硅钼棒加热元件两边垂吊，沿炉体长度方向分为高温静置区、降温区、结晶区、冷却区，本实用新型采用预热炉和提纯结晶炉组合使用，可实现连续化生产，产量高，生产成本低，污染小，投资小、自动化程度高的特点，本实用新型在连续式炉中实现定向冷却，有利于硅提纯合格率的提高，具有良好的经济效益和社会效益。

主权项

1、一种连续式多晶硅提纯结晶炉，其特征在于它由预热炉(8)、提纯结晶炉(4)、电动拖车等组成，它包括推进器(1)、电动拖车(2)、升降门(3)(5)(7)(9)、提纯结晶炉(4)、外轨道(6)、预热炉(8)、台车(10)，推进器(1)为液压推进，位于结晶炉(4)的正前部，预热炉(8)为梭式窑结构，炉膛顶部为拱型结构，预热炉(8)前、后设有可自由升降密封门(7)(9)，U型硅钼棒(8-1)加热元件两边垂吊，预热的坩埚(8-3)放置在台车(10)上；提纯结晶炉(4)包括炉体、台车、升降门、加热系统、降温系统等组成，提纯结晶炉(4)炉体为隧道式，顶部为拱型，两组U型硅钼棒(R)加热元件两边垂吊，在结晶区两组U型硅钼棒(R)有效加热端的尺寸呈逐步缩短排列，沿炉体长度方向分为高温静置区A、降温区B、结晶区J、冷却区D，在结晶区J炉膛两侧采用间接隔套风冷结构，台车(10)上部设置有支撑台面，侧部设漏液收集槽，下部设导热槽，台车(10)与提纯结晶炉(4)采用曲封+砂封密封，台车(10)下部设有四轮，轴承为耐温轴承；电动拖车(2)由驱动电机、减速机、链条等组成，在结晶炉(4)前后各设一套，实现外轨道(6)上台车与结晶炉(4)内部台车的摆渡。