[实用新型]太阳能电池扩散设备无效
| 申请号： | 200820031097.2 | 申请日： | 2008-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN201171053Y | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 马祥柱;单惠标;仝斌;许结刚 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种太阳能电池加工技术领域，特别是一种太阳能电池扩散设备，包括扩散炉和机台排风端，扩散炉内产生的废气通过管道从机台排风端排出，机台排风端安装排风压力控制阀和相应的排风压力控制器。抽气排风压力稳定后，磷在硅片中的注入浓度稳定后，方块电阻也随之稳定，可以提升最终太阳能电池的效率5％。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 扩散 设备 | ||
【主权项】：
1、一种太阳能电池扩散设备，包括扩散炉(1)和机台排风端(2)，扩散炉(1)内产生的废气通过管道从机台排风端(2)排出，其特征是：所述的机台排风端(2)安装排风压力控制阀(3)和相应的排风压力控制器(4)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
