[实用新型]电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置无效
| 申请号： | 200820042079.4 | 申请日： | 2008-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN201311804Y | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 刘宏;刘晓晗;袁洁静 | 申请（专利权）人： | 苏州汉申微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01F5/00 | 分类号： | H01F5/00;H01F38/14;H05H1/46;H05H1/50;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 马明渡 |
| 地址： | 215011江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造设备领域，特别涉及一种电感耦合等离子体装置(ICP)以及用于该装置中的电感耦合线圈。该装置包括反应室(10)、工作台(11)、电感耦合线圈、电感射频匹配器(12)以及电感射频电源(13)，其特征在于：电感耦合线圈设在反应室(10)内，且位于工作台(11)上方；电感耦合线圈由两组相同的平面栅形线圈(1)并联且对称布置构成，其中，每组平面栅形线圈(1)由一根铜管(2)在平面上按“U”形波浪路径折制成栅形结构，铜管(2)内设有陶瓷绝缘内套管(5)，陶瓷绝缘内套管(5)的内腔作为冷却水通道，铜管(2)外设有陶瓷绝缘外套管(6)。本实用新型磁场分布均匀性好、效率高、对基片表面损伤更小，适合于大面积薄膜沉积、刻蚀以及表面处理等半导体加工工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 线圈 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
1、一种电感耦合线圈，其特征在于：由两组相同结构、形状和尺寸的平面栅形线圈(1)组成，其中，每组平面栅形线圈(1)由一根铜管(2)在平面上按“U”形波浪路径折制成栅形结构，栅形结构的折弯处(3)为半圆或圆弧过渡，栅形结构的直段(4)相互平行；铜管(2)内设有陶瓷绝缘内套管(5)，陶瓷绝缘内套管(5)的内腔作为冷却水通道，铜管(2)外设有陶瓷绝缘外套管(6)；两组平面栅形线圈(1)以平行于所述直段(4)的轴线为基准在同一平面内左右对称布置，其中，一组平面栅形线圈(1)的一端与另一组平面栅形线圈(1)对称的一端并联后作为电感耦合线圈的第一端(7)，而一组平面栅形线圈(1)的另一端与另一组平面栅形线圈(1)对称的另一端并联后作为电感耦合线圈的第二端(8)。
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