[实用新型]多生产线微蚀药液集中供给装置有效
申请号: | 200820047175.8 | 申请日: | 2008-04-30 |
公开(公告)号: | CN201186953Y | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | 李志东 | 申请(专利权)人: | 深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司 |
主分类号: | C23G3/00 | 分类号: | C23G3/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 曾旻辉;赵磊 |
地址: | 518054广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多生产线微蚀药液集中供给装置,它包括配药槽、储药槽、中转槽、配药泵、输送泵、加药泵以及分别连通各生产线微蚀槽的控制阀,其中配药泵入口管道连接配药槽,出口管道连接储药槽,输送泵入口管道连接储药槽,出口管道连接中转槽,加药泵入口管道连接中转槽,出口管道连接各控制阀。本实用新型的优点是:实现了微蚀药液的集中供给,避免了现场配药操作带来的对环境和人员的不良影响,同时可以缩短各生产线微蚀槽更换槽液所需的时间,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 生产线 药液 集中 供给 装置 | ||
【主权项】:
1、一种多生产线微蚀药液集中供给装置,其特征在于:它包括配药槽、储药槽、中转槽、配药泵、输送泵、加药泵以及分别连通各生产线微蚀槽的控制阀,其中配药泵入口管道连接配药槽,出口管道连接储药槽,输送泵入口管道连接储药槽,出口管道连接中转槽,加药泵入口管道连接中转槽,出口管道连接各控制阀。
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