[实用新型]显影制程设备无效
| 申请号： | 200820047228.6 | 申请日： | 2008-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN201311548Y | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 叶奕志;刘耀隆 | 申请（专利权）人： | 深超光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所 | 代理人： | 侯来旺 |
| 地址： | 518109广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型主要涉及一种显影制程设备，尤其是指一种应用于液晶显示器之显影制程设备，其包含：一工作腔与一中间贮槽、一显影液循环系统，具有一连接管路，连接该工作腔与该中间贮槽、一喷嘴，配置于该工作腔内、以及一显影液承接组，对应于该喷嘴。藉由移动该显影液承接组，使其接近并靠住该喷嘴，并以该喷嘴进行显影液之假配药，最后再藉着该显影液承接组承接该显影液。因此，可控制关键尺寸之稳定性，并提升该显影液之回收率。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 设备 | ||
【主权项】：
1.一种显影制程设备，包含：一工作腔、一中间贮槽；一显影液循环系统，具有一连接管路，连接该工作腔与该中间贮槽；及一喷嘴，配置于该工作腔内；其特征在于该工作腔内装设一显影液承接组，对应于该喷嘴，藉以承接该喷嘴流出之液体。
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