[实用新型]一种可提高压力测量精准度的防堵装置有效
| 申请号： | 200820055032.1 | 申请日： | 2008-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN201163229Y | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 代洪刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06;G01L19/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种可提高压力测量精准度的防堵装置，设置在气相沉积设备的反应腔中，该反应腔通过一竖直连接在其底面上的测试管道连接至一压力表，该防堵装置用于防止该测试管道被堵塞。现有技术中并无防堵装置致使竖直连接在反应腔底面上的测试管道被堵塞从而影响压力表测量压力的精准度。本实用新型的防堵装置具有相互连通且分别用于设置在测试管道和反应腔中的引流导管和防堵腔室，该测试管道的直径大于该引流导管且小于该防堵腔室，该防堵腔室的侧面上具有多个通气孔，当引流导管设置在测试管道中时，该测试管道被该防堵腔室遮盖。本实用新型可避免连接压力表和反应腔室的测试管道被堵塞，并大大提高压力测量的精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 压力 测量 精准 装置 | ||
【主权项】：
1、一种可提高压力测量精准度的防堵装置，设置在气相沉积设备的反应腔中，该反应腔通过一竖直连接在其底面上的测试管道连接至一压力表，该防堵装置用于防止该测试管道被堵塞，其特征在于，该防堵装置具有相互连通且分别用于设置在测试管道和反应腔中的引流导管和防堵腔室，该测试管道的直径大于该引流导管且小于该防堵腔室，该防堵腔室的侧面上具有多个通气孔，当引流导管设置在测试管道中时，该测试管道被该防堵腔室遮盖。
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