[实用新型]大动态范围的哈特曼波前传感器无效
申请号: | 200820057334.2 | 申请日: | 2008-04-16 |
公开(公告)号: | CN201212837Y | 公开(公告)日: | 2009-03-25 |
发明(设计)人: | 姜有恩;李学春 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00;G01D5/26 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种大动态范围的哈特曼波前传感器,其结构包括由平面波参考源、分光镜、光学匹配系统、波面分割阵列、光电探测器阵列和计算机组成的哈特曼波前传感器,其特点是还有一平移台,所述的光电探测器阵列固定在该平移台上。本实用新型能对光斑所属区域进行正确识别,有效地提高了哈特曼波前传感器的测量动态范围。 | ||
搜索关键词: | 动态 范围 哈特曼波前 传感器 | ||
【主权项】:
1、一种大动态范围的哈特曼波前传感器,包括由平面波参考源(3)、分光镜(2)、光学匹配系统(4)、波面分割阵列(5)、光电探测器阵列(6)和具有数据处理软件的计算机组成的哈特曼波前传感器,其特征是还有一平移台(7),所述的光电探测器阵列(6)固定在该平移台(7)上,驱动该平移台(7)运动,带动所述的光强探测器阵列(6)沿其光敏面的法线方向移动。
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