[实用新型]大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉有效
| 申请号： | 200820064321.8 | 申请日： | 2008-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN201224777Y | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王国强;肖兵;周世斌;曹宗良 | 申请（专利权）人： | 成都东骏激光有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭立琼 |
| 地址： | 611630四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉，包括炉体、热场、真空系统、保护气氛充气系统、炉内气氛控制系统，设置在热场内腔的钼坩埚通过坩埚下保温托与坩埚杆连接，坩埚杆与主升降机构相连，钼坩埚籽晶管对应的下保温托、坩埚杆设有贯通孔，通孔内设置的副升降杆从坩埚杆底部穿出，并与副升降机构相连。通过副升降机构控制副升降杆的升降，从而为晶体生长提供足够的温度梯度，提高晶体气泡排除能力，减少晶体内部的缺陷。通过气氛控制系统，确保炉内保护气氛符合要求并保持稳定，避免了钼坩埚挥发后杂质的产生。从而有效提高晶体生长质量，生长出规则圆柱形的大尺寸优良蓝宝石晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 蓝宝石 坩埚 下降 生长 | ||
【主权项】：
1、一种大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉，包括炉体(5)、热场(4)、真空系统(6)、保护气氛充气系统(11)，热场内腔设置的钼坩埚(7)通过坩埚下保温托(8)与坩埚杆(9)连接，坩埚杆与升降机构相连，其特征在于：钼坩埚对应的下保温托、坩埚杆设有贯通孔，通孔内设置的副升降杆(10)从坩埚杆底部穿出，并与副升降机构相连。
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