[实用新型]光学薄膜测厚仪

摘要

本实用新型提供一种光学薄膜测厚仪，该仪器包括有光源、电源、光纤光谱仪、光纤跳线、探头、样品台、水平调节旋钮以及USB接口，所述光源、电源、光纤光谱仪分别固定在该仪器壳体内后侧的安装板上；光纤探头安装在样品台上的横梁上，水平调节旋钮置于样品台的下方；所述光源、光纤光谱仪、探头分别连接光纤跳线；光纤光谱仪带有USB接口。有益效果是该仪器结构使光路方便调节，提高了测量精度，保证有足够的反射光进入光纤；使用光阑来调节测量光束的大小，操作简便，使仪器适用于不同的测试样品和条件，拓宽了仪器的适用性；样品台加入水平调节装置，保证光束严格垂直样品表面，而且使其能够测量不规则样品。

主权项

1、一种光学薄膜测厚仪，该仪器包括有壳体，壳体开有上盖，其特征是：所述壳体内装有光源(1)、电源(2)、光纤光谱仪(3)、光纤跳线(4)、探头(5)、样品台(6)、水平调节旋钮(7)以及USB接口(8)，所述光源(1)、电源(2)、光纤光谱仪(3)分别固定在该仪器壳体内后侧的安装板上；探头(5)安装在样品台(6)上的横梁上，水平调节旋钮(7)置于样品台(6)的下方；所述光源(1)、光纤光谱仪(3)、探头(5)分别连接光纤跳线(4)；光纤光谱仪(3)通过USB接口线与USB接口(8)连接。