[实用新型]采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像装置无效
| 申请号： | 200820079483.9 | 申请日： | 2008-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN201177599Y | 公开（公告）日： | 2009-01-07 |
| 发明（设计）人： | 孟永宏;靳刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01B11/06;G06T1/00 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种采用旋转补偿器和时间积分采样的椭偏成像装置。所述装置包括：入射单元；出射单元；数据采集处理单元；数据采集处理单元通过硬触发的方式来触发出射单元获得样品的椭偏图像。本实用新型利用时间积分方法进行采样大幅度提高了系统的时间分辨率，即减少了采样时间；采用匀速旋转相位补偿器达到了稳定的目的，能够保证操控精度。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 旋转 补偿 积分 采样 成像 装置 | ||
【主权项】：
1.一种采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像装置，所述装置包括：入射单元(1)，用于产生准直、单色、偏振态可控的偏振光波，倾斜入射到样品表面上；出射单元(3)，所述出射单元(3)的光轴与所述入射单元(1)的光轴用于接收来自样品(20)的反射光，并对其偏振态进行调制，并获得样品(20)的椭偏图像；数据采集处理单元(4)，用于采集所述出射单元(3)产生的数据并进行处理；其特征在于，所述数据采集处理单元(4)通过硬触发的方式来触发出射单元(3)获得样品(20)的椭偏图像。
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