[实用新型]一种DUT散射光的分光装置有效
| 申请号： | 200820086852.7 | 申请日： | 2008-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN201207104Y | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 涂勤昌;刘胜利;顾海涛;王健 | 申请（专利权）人： | 聚光科技(杭州)有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10;G02B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310052浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种DUT散射光的分光装置，包括第一滤波膜片和第二滤波膜片，其位置关系为：第一滤波膜片把到达的从DUT散射的光信号(S0)分离为透射光信号(S2)和反射光信号(S21)；第二滤波膜片把到达的所述透射光信号(S2)分离为具有第二部分波长的反射光信号(S22)和具有第三部分波长的透射光信号(S23)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dut 散射 分光 装置 | ||
【主权项】：
1、一种DUT散射光的分光装置，包括第一滤波膜片和第二滤波膜片，其特征在于：所述第一滤波膜片和第二滤波膜片的位置关系为：第一滤波膜片把到达的从DUT散射的光信号(S0)分离为透射光信号(S2)和具有第一部分波长的反射光信号(S21)；第二滤波膜片把到达的所述透射光信号(S2)分离为具有第二部分波长的反射光信号(S22)和具有第三部分波长的透射光信号(S23)。
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