[实用新型]腐蚀槽鼓泡装置及腐蚀槽无效
| 申请号： | 200820092369.X | 申请日： | 2008-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN201162047Y | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王友旺 | 申请（专利权）人： | 深圳深爱半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/20;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 518029广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种鼓泡装置以及具有鼓泡装置的腐蚀槽。鼓泡装置为一板状物，其一侧设有至少一个进气口和至少一个出气口，其内部设有一连接所述出气口和进气口的通道。该装置可以搁置在腐蚀槽的底壁也可以为腐蚀槽槽体的一部分。出气口可以为均匀设置的多个细孔。本实用新型简单易行、成本低廉，可达到均匀腐蚀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 槽鼓泡 装置 | ||
【主权项】：
1.一种腐蚀槽鼓泡装置，其特征在于：所述鼓泡装置为一板状物，其一侧设有至少一个进气口和至少一个出气口，其内部设有一连接所述出气口和进气口的通道。
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