[实用新型]一种石英晶片腐蚀机

摘要

本实用新型公开了一种石英晶片腐蚀机，包括控制系统、若干组驱动系统、腐蚀系统以及清洗系统，其中，每一组驱动系统对应所述腐蚀系统和清洗系统中的一对腐蚀槽和清洗槽，所述每一组驱动系统包括：摆动机构，具有：机械手、机械臂以及副机械臂；滑动机构，具有：平行滑道和滑动板，通过两机构的配合，实现驱动系统钩挂的腐蚀篮同时作上下往复运动和正反旋转运动，使腐蚀篮中的微型晶片充分浸泡在腐蚀液中，提高了石英晶片腐蚀机的工作效率，降低了石英晶片腐蚀的成本。

主权项

1、一种石英晶片腐蚀机，包括控制系统、若干组驱动系统、腐蚀系统以及清洗系统，其中，每一组驱动系统对应所述腐蚀系统和清洗系统中的一对腐蚀槽和清洗槽，其特征在于，所述每一组驱动系统包括：摆动机构，具有机械手，其上端设置有从动齿轮，下端设置有挂钩，该挂钩钩挂一腐蚀篮，该腐蚀篮内任意容装若干待腐蚀石英晶片；该机械手的中部设置连杆，通过该连杆与机械臂的下端连接；机械臂，其上端设置有旋转气缸，其下端通过所述连杆与所述机械手连接；副机械臂，其上端通过一曲柄摇杆机构与减速电机输出轴连接；其下端设置有主动齿轮，当所述腐蚀篮置于所述腐蚀槽中进行腐蚀时，该主动齿轮与所述从动齿轮啮合；滑动机构，具有平行滑道，该平行滑道由两组直线轴承、两组直线轴以及轴固定架组装而成；滑动板，该滑动板安装于所述平行滑道上，并且所述摆动机构安装于该滑动板上；双向气缸，该双向气缸安装于所述滑动机构上，其作用点对应于所述滑动板，并且该双向气缸上设置若干磁性开关，以控制所述滑动板上下往复运动。