[实用新型]一种硅片甩干机有效
| 申请号： | 200820105686.0 | 申请日： | 2008-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN201266000Y | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 赵丽霞 | 申请（专利权）人： | 河北普兴电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B11/18 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 050200河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片甩干机，属晶体硅制备装置技术领域。其结构中包括，腔体，腔体内设置旋转体，旋转体上承载硅片架，腔体顶部设置包括空气过滤装置的顶盖，空气过滤装置由过滤介质、隔板和框架组成，其特征在于：在甩干机顶盖上设置有连通空气过滤装置的氮气进气口。通过加装氮气进气装置，使设备具有强制干燥功能，片子在甩干的同时，附加氮气干燥作用，可彻底去除表面的水气，解决表面形成时间依敕性雾的问题，同时空气过滤装置又保证了硅片表面的颗粒不超标，本新型结构在不改变原有结构前提下进行改进，结构简单，性能可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 甩干机 | ||
【主权项】：
1、一种硅片甩干机，其结构中包括，腔体，腔体内设置旋转体，旋转体上承载硅片架，腔体顶部设置包括空气过滤装置的顶盖，空气过滤装置由过滤介质、隔板和框架组成，其特征在于：在甩干机顶盖上设置有连通空气过滤装置的氮气进气口。
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