[实用新型]量具有效
| 申请号： | 200820108413.1 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN201229159Y | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 任林伟;宋庆海;田非 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/14 | 分类号： | G01B5/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 100176北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于量测晶圆与点胶机喷嘴之间间距的量具，包括：底板及设于底板的倾斜体，量测时通过将所述量具置于晶圆与点胶机喷嘴之间，可以对不同范围内的间距进行量测，提高量测的准确度，节省量测的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 量具 | ||
【主权项】：
1. 一种量具，用于量测晶圆与点胶机喷嘴之间的间距，所述量具包括：底板，量测时位于晶圆与点胶机喷嘴之间；设于所述底板的倾斜体，在斜面或沿面标有标识间距尺度的刻度。
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